主要应用于生物、电子、化学化工、冶金、宇航、电力等领域制备高纯水、超纯水、电子行业用水。广泛应用于电子行业半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水源等;也用于集成电路工业中其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作所使用的超纯水以及实验室、医院等各型超纯水机等领域。
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